中微公司营收124亿投37亿研发 刻蚀设备全球累计出货超6800台

长江商报消息 ●长江商报记者 沈右荣

半导体设备龙头中微公司（688012.SH）经营业绩快速增长。

根据新近披露的业绩快报，2025年，中微公司实现营业收入123.85亿元，归母净利润21.11亿元，二者均较上年同期增长超30%。

长江商报记者发现，2025年，中微公司的营收和净利均创了历史新高。

针对2025年经营业绩创新高，中微公司解释，除了出售持有的部分上市公司股票带来投资收益增加外，先进逻辑和存储器件制造中关键刻蚀工艺的高端产品新增付运量显著提升是核心因素。

中微公司坚持长期主义，其高投入研发也对利润产生了一定影响。2025年，公司研发投入达37.44亿元，占营业收入的30%左右，远超科创板公司均值。

坚持高投入研发，中微公司多个研发项目顺利推进，主营产品等离子体刻蚀设备作为半导体前道核心设备之一，技术壁垒较高，产品畅销。

据披露，中微公司LPCVD设备累计出货量突破300个反应台，刻蚀设备反应台全球累计出货超过6800台。

营收和净利双双创历史新高

行业龙头中微公司取得了创新高的年度经营业绩。

近日，中微公司发布年度业绩快报。2025年度，公司实现营业收入约123.85亿元，较2024年增加约33.19亿元，同比增长约36.62%；实现归母净利润21.11亿元，较2024年增加4.96亿元，同比增长约30.69%。公司实现的扣非净利润约为15.50亿元，与2024年同期（法定披露数据）相比，增加约1.62 亿元，同比增长11.64%。

这将是中微公司史上最为亮丽的财报，因为公司营业收入、归母净利润、扣非净利润均创下了历史新高。

中微公司于2019年登陆A股市场以来，公司营业收入持续快速增长，2019年至2024年，公司营业收入从19.47亿元增长至90.65亿元，年均增速超过30%。同期，除了2024年归母净利润出现10%以下的调整外，2019年至2023年，公司归母净利润亦均为快速增长。

2025年前三季度，公司实现的营业收入、归母净利润分别为80.63亿元、12.11亿元，同比增长46.40%、32.66%。对比发现，第四季度，公司归母净利润达9亿元，也创下单季度历史新高。

2025年，中微公司的主要经营业绩指标为何能创新高？公司解释，公司的等离子体刻蚀设备在国内外持续获得更多客户的认可，针对先进逻辑和存储器件制造中关键刻蚀工艺的高端产品新增付运量显著提升，先进逻辑器件中段关键刻蚀工艺和先进存储器件超高深宽比刻蚀工艺实现量产。而且，市场对公司开发的多种新设备的需求急剧增长。

一组数据可以证明中微公司产品热销。2025年，公司刻蚀设备销售约98.32亿元，占公司年度营业收入预计数的79.39%，同比增长约35.12%。此外，公司LPCVD和ALD等半导体薄膜设备收入5.06亿元，同比增长约224.23%。

此外，公司取得了可观的投资收益。由于二级市场股价波动，中微公司出售了部分持有的上市公司股票，经评估师初步评估，公司2025年计入非经常性损益的股权投资收益为6.11亿元，较上年同期的1.98亿元增加约4.13亿元。

正是靠主业盈利能力提升加上投资收益，使得中微公司在2025年取得了史上最好经营业绩。

连续两年研发投入高增

中微公司经营业绩高速增长，与市场需求相关，更与公司产品竞争力相关。

在业绩快报中，中微公司表示，公司主营产品等离子体刻蚀设备作为半导体前道核心设备之一，技术壁垒较高，且等离子体刻蚀设备在国内外持续获得更多客户的认可。

产品技术壁垒较高，源于研发。中微公司持续加码研发投入。

2020年至2022年，公司研发投入分别为6.40亿元、7.28亿元、9.29亿元，2023年、2024年分别为12.62亿元、24.52亿元，同比增长35.84%、82.09%。

2024年，公司研发投入占营业收入比例约为27.05%，远高于科创板均值。

2025年，公司研发投入为37.44亿元，较2024年增加12.91亿元，同比增长约52.65%。2025年研发投入占公司营业收入比例约为30.23%，依然远高于科创板均值。

正是因为2024年的研发投入高速增长，其增速远超当期营业收入，当年归母净利润出现调整。

中微公司的研发投入为何连续两年高速增长？公司曾在2024年解释，主要由于市场及客户需求，以及外部形势的变化，公司需要大量的研发投入，以确保加速补短板和实现赶超。

中微公司的研发推进顺利。近两年，公司新开发出十多种导体和介质薄膜设备，目前已有多款新型设备产品进入市场，其中部分设备已获得重复性订单，LPCVD 设备累计出货量突破300个反应台，其他多个关键薄膜沉积设备研发项目正在顺利推进；公司EPI 设备已顺利进入客户端量产验证阶段。

中微公司表示，公司持续保持国际氮化镓基 MOCVD 设备市场领先地位，积极布局用于碳化硅和氮化镓基功率器件应用的市场，并在 Micro-LED 和其他显示领域的专用MOCVD 设备开发上取得了良好进展，几款 MOCVD 新产品进入客户端验证阶段。公司新型八寸碳化硅外延设备、新型红黄光 LED 应用的设备已付运至国内领先客户开展验证，目前进展顺利。

中微公司还披露，到2025年底，公司累计已有超过7800个反应台在国内外170 余条客户芯片及LED生产线全面量产，其中刻蚀设备反应台全球累计出货超过6800台。

中微公司资金充足，能够保障公司资本开支。截至2025年9月末，公司货币资金75.07亿元，交易性金融资产7.91亿元，而有息负债仅约为7.5亿元。

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